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等離子清洗機(jī)操作步驟
等離子清洗機(jī)操作步驟如下：
操作流程：打開電源---將產(chǎn)品放置于真空腔內(nèi)---在系統(tǒng)界面里設(shè)置時(shí)間、功率、氣流量等工作參數(shù)---啟動(dòng)工作---到達(dá)計(jì)時(shí)---取出產(chǎn)品
1.首先操作員應(yīng)該將被設(shè)備加工的物品轉(zhuǎn)移到反應(yīng)室內(nèi)。
2.當(dāng)操作員關(guān)上反應(yīng)室的門并且啟動(dòng)程序時(shí)，這個(gè)腔將自動(dòng)密封。
3.這個(gè)真空腔將會(huì)被抽空到一個(gè)預(yù)先設(shè)置的真空壓力下。
4.當(dāng)真空腔里的壓力達(dá)到預(yù)設(shè)的真空壓力時(shí)，混合氣體將被引進(jìn)到反應(yīng)室內(nèi)。腔內(nèi)的壓力將被穩(wěn)定在這個(gè)預(yù)定的壓強(qiáng)狀態(tài)下。
5.電源將被激活并且射頻電源將被用來(lái)激發(fā)反應(yīng)室內(nèi)的氣體。
6.等離子體將會(huì)在預(yù)先設(shè)置的時(shí)間段內(nèi)在反應(yīng)室內(nèi)用來(lái)處理產(chǎn)品。
7.當(dāng)產(chǎn)品已經(jīng)被等離子體處理過(guò)后，反應(yīng)室內(nèi)的射頻電源將會(huì)停止。
8.操作用氣也將會(huì)停止供應(yīng)。
9.真空破除器的截止閥將會(huì)被打開用來(lái)凈化反應(yīng)室。
10.真空管將會(huì)關(guān)上，與此同時(shí)允許先前被阻斷的氣體返回到反應(yīng)室內(nèi)，使反應(yīng)室回歸到大氣壓強(qiáng)。
11.操作人員打開反應(yīng)室的門。
12.已經(jīng)被處理過(guò)的產(chǎn)品可以從真空腔內(nèi)移出，整個(gè)流程結(jié)束。
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